Gloveboxes a medida para el procesamiento de semiconductores

Apoyo a sus proyectos, desde la investigación en laboratorio hasta las líneas de producción industrial.

Jacomex diseña cajas de guantes a medida para la industria de los semiconductores. Control preciso de la atmósfera (O₂, H₂O, partículas) para la preparación de obleas y la deposición de capas finas sin contaminación.

Las cámaras de contención y los sistemas de purificación de Jacomex proporcionan una atmósfera purificada y libre de partículas, preservando la integridad de las obleas y los materiales utilizados en la fabricación de microchips (depósitos de oro, aluminio, cobre y aleaciones modificadas).

Nuestra tecnología está diseñada para eliminar trazas (<1 ppm) de oxígeno (O₂) y humedad (H₂O), garantizando al mismo tiempo un entorno libre de partículas, un requisito esencial en cada etapa sensible del proceso. Nuestras alianzas industriales con fabricantes de equipos de deposición al vacío y otros actores clave del sector permiten ofrecer a nuestros clientes soluciones integradas que cubren todo el ciclo de preparación, procesamiento y almacenamiento de muestras.

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Aplicaciones principales

Preparación y manipulación de obleas
Deposición de capas finas y recubrimientos
Transferencia y conexión a estaciones de caracterización
Interfaz con líneas de vacío
Almacenamiento en atmósfera inerte
Computación cuántica

Un diseño respetuoso con el medio ambiente: ¡ahorro energético para todos!

Proteger nuestro entorno no debería implicar concesiones. Por ello, el modo de ahorro de energía está incluido y disponible de forma gratuita en todas las cajas de guantes Jacomex.

Consumo de energía estándar = 198 vatios
Modo de ahorro de energía = hasta 31 vatios

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Configuración estándar

Soluciones personalizadas: instalaciones industriales a medida

Cámaras de contención de última generación diseñadas para el proceso de fabricación de semiconductores
Integración de líneas de vacío y conexión directa a equipos de deposición (PVD, ALD, ALE)
Pasamuros desmontables para ahorrar espacio y tiempo (Clase 1 según ISO 10648-2)
Integración de estaciones de transferencia, spin coaters y sistemas de deposición slot-die
Entorno ISO 5 disponible: flujo de aire unidireccional, sopladores de techo
Filtración especializada para pureza de grado microelectrónico
Ergonomía, evaluación de riesgos

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Gama de Gloveboxes purificados para la fabricación de semiconductores

Atmósfera controlada (<1 ppm O₂ y H₂O) para preservar la integridad de las obleas y evitar la contaminación de las muestras
Estaciones de trabajo modulares con 2, 3 o 4 guantes, adaptadas al tamaño de su línea de producción
Configuraciones individuales o enfrentadas, para integrarse en la distribución de su taller o sala blanca
Funciona con gas puro (argón, nitrógeno, helio), garantizando un entorno libre de partículas
Antecámaras de vacío calefactadas, Ø150 mm – Ø400 mm, para la transferencia de obleas sin romper el vacío
HMI intuitiva, trazabilidad de usuarios y registro de datos durante 2 meses
Bajo mantenimiento para un coste total de propiedad (TCO) reducido
Garantía de 3 años

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Nuestras recomendaciones para Semiconductores

Gbox

Glovebox modular con atmósfera controlada, con barrido de gas o Glovebox climático.

See Gbox Glovebox

PureEvo

Un sistema de Glovebox totalmente personalizable que cumple con las expectativas más altas, diseñado para integrar procesos complejos y sistemas de terceros. <1 ppm de O2 y H2O

See PureEvo Glovebox

PureMod

Una estación de trabajo modular que ofrece funciones mejoradas para demandas más especializadas. <1 ppm de O2 y H2O

See PureMod Glovebox

Equipamiento y características

Nuestras recomendaciones para el sector de los semiconductores

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Certificaciones

Normas de calidad ISO y europeas

Jacomex se enorgullece de mantener los más altos estándares de la industria, con certificaciones que incluyen la ISO 9001:2015 para la gestión de la calidad y la ISO 10648-2 para recintos de contención y cajas de guantes. Además, garantizamos el cumplimiento de la norma EN 60439-1, un estándar de autocertificación CE, lo que refleja nuestro compromiso con la seguridad y la fiabilidad.

Certificados de Jacomex