Bomba seca primaria
Descripción general
Bomba seca primaria
Descripción
La calidad del bombeo en una caja de guantes es importante. La estabilidad de la pureza del oxígeno y la humedad en una caja de guantes también depende de ello. En efecto, la bomba de vacío se utiliza para evacuar gas o aire de las esclusas de transferencia montadas en cajas de guantes con unidades de purificación.
Para aplicaciones específicas como semiconductores en sala blanca o deposición de capas finas, por ejemplo, donde deben evitarse trazas de hidrocarburos, es necesario cambiar de tecnología y realizar ciclos de vacío de esclusa utilizando una bomba seca.
Su coste, que es superior al de una bomba de paletas, se compensa con ventajas innegables como un mantenimiento reducido y bajos costes de funcionamiento, larga vida útil y bajo nivel de ruido. Las bombas secas son, de hecho, adecuadas para todas las tecnologías avanzadas actuales. Tras un primer intercambio de información, le ayudaremos a seleccionar la marca y el modelo que mejor se adapten a sus necesidades.
Especificaciones técnicas - Información
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Bombas secas sin aceite
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Caudales: 6 m3/h – 12 m3/h – 18 m3/h según el modelo
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P. límite: 7.10-2 hPa – 5.10-2 hPa – 3.10-2 hPa según el modelo
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