ALD (Deposición de Capas Atómicas) para Caja de Guantes
Descripción general
ALD (Deposición de Capas Atómicas)
Descripción
- La Deposición de Capas Atómicas (ALD) es un proceso para depositar capas atómicas delgadas;
- La ALD es una forma particular de CVD (Deposición Química de Vapor). La principal diferencia entre la ALD y la CVD genérica es la introducción secuencial, y no simultánea, de los precursores en la cámara de reacción;
- Aunque más lento que otras técnicas, el proceso proporciona una mejor calidad estructural;
- Permite la deposición capa a capa de TiO2, Al2O3, SiO2, ZnO, MgO, NiO, SnO2, Nb2O5.
Especificaciones técnicas - Información
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Marco externo con una caja de guantes integrada mediante una brida de acero inoxidable.
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La ALD se puede integrar en el suelo, en la parte trasera o en un lateral de la caja de guantes, según los modelos.
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Compatible con la mayoría de los modelos diseñados con una interfaz adecuada.
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¿Cuáles son las aplicaciones de las técnicas de deposición de películas delgadas?
Los campos donde las técnicas de deposición de películas delgadas son más utilizadas son la producción y el desarrollo de componentes para el almacenamiento y la conservación de energía, semiconductores y nanotecnología.
Por lo tanto, en el campo de las células fotovoltaicas orgánicas, las baterías de litio, los OLED o los sensores, las cajas de guantes deben integrar muchos instrumentos que pueden conectarse mediante una brida. Así, se puede depositar una película delgada de material, generalmente con un espesor de unos pocos nanómetros, mientras se protege del oxígeno y la humedad.
Algunas técnicas de deposición de películas delgadas
Existen diferentes tipos de equipos disponibles para la deposición de capas atómicas (ALD), incluyendo:
- Equipos de deposición Slot Die, que permiten la deposición en sustratos grandes;
- Equipos de evaporación al vacío, que permiten la evaporación de un material metálico u orgánico y la deposición de una capa delgada en la superficie de una oblea o un sustrato;
- Equipos de impresión por inyección de tinta para la deposición de una capa delgada de líquidos funcionales en la superficie de varios sustratos que pueden alcanzar mayores dimensiones (tinta dieléctrica, tinta conductora);
- Equipos para la deposición de capas delgadas por spincoating, más particularmente dedicados a sustratos pequeños u obleas de tamaño reducido.
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